Positioniersysteme Ultra High Vacuum MS30

1. Vakuumkompatibles Design: Die Positioniersysteme müssen speziell für den Einsatz im Vakuum konstruiert sein. Dies beinhaltet die Verwendung von vakuumkompatiblen Materialien, Dichtungen und Komponenten, die keine Ausgasungen verursachen und keine Kontamination des Vakuumsystems verursachen.
2. Hochvakuumtauglichkeit: Die Positioniersysteme sollten für den Einsatz in Hochvakuumumgebungen geeignet sein, typischerweise bis zu Drücken im Bereich von 10^-6 bis 10^-9 mbar. Dies erfordert eine spezielle Konstruktion und Abdichtung, um ein Leckagen oder Druckabfall im Vakuum zu vermeiden.
3. Geringe Partikelbildung: Positioniersysteme im Vakuum müssen minimale Partikel erzeugen, um eine Kontamination des Vakuumsystems zu verhindern. Dies erfordert eine sorgfältige Materialauswahl und Oberflächenbehandlung, um Reibung und Verschleiß zu minimieren.
4. Temperaturstabilität: Vakuumumgebungen können zu Temperaturschwankungen führen. Die Positioniersysteme sollten eine gute thermische Stabilität aufweisen, um eine präzise Positionierung über einen breiten Temperaturbereich zu gewährleisten.
5. Präzision und Wiederholbarkeit: Wie bei Positioniersystemen in anderen Umgebungen ist eine hohe Präzision und Wiederholbarkeit erforderlich. Dies gewährleistet genaue und wiederholbare Positionierungen im Vakuum.
6. Vakuumkompatible Antriebe: Die Antriebssysteme, wie zum Beispiel Schrittmotoren, Piezoaktoren oder Linearmotoren, sollten für den Betrieb im Vakuum geeignet sein. Sie müssen geringe Reibung und Verschleiß aufweisen, um eine präzise und zuverlässige Positionierung zu ermöglichen.
7. Vakuumkompatible Sensorik: Falls Positionsrückmeldungen erforderlich sind, sollten die verwendeten Sensoren, wie zum Beispiel optische oder kapazitive Sensoren, vakuumkompatibel sein und keine Ausgasungen verursachen.

Mikropositionierer