MS15 xy-montiert (UHV-Edition)

Ultrakleine Miniaturverschiebetische mit piezoelektrischem Trägheitsantrieb sind hochpräzise Positioniersysteme, die auf dem Prinzip der piezoelektrischen Wirkung basieren. Piezoelektrische Materialien haben die Eigenschaft, sich unter Anlegen einer elektrischen Spannung mechanisch zu verformen. Dieser Effekt wird genutzt, um winzige Bewegungen in den Verschiebetischen zu erzeugen. Ein Miniaturverschiebetisch mit piezoelektrischem Trägheitsantrieb besteht in der Regel aus einem piezoelektrischen Aktuator und einem Mechanismus zur Umwandlung der Längsbewegung des Aktuators in eine lineare Verschiebung. Der Aktuator kann durch Anlegen einer Spannung schwingende Bewegungen in mikroskopischem Bereich erzeugen. Der piezoelektrische Trägheitsantrieb nutzt das Prinzip der Trägheit, um die gewünschten Bewegungen zu erzielen. Durch die wiederholte An- und Ausschaltung der Spannung am piezoelektrischen Aktuator kann eine periodische Schwingung erzeugt werden. Der Verschiebetisch ist so konstruiert, dass diese Schwingung in eine lineare Bewegung umgewandelt wird. Die Richtung und der Umfang der Bewegung können durch die Frequenz und Amplitude der angelegten Spannung gesteuert werden. Diese Art von Miniaturverschiebetischen mit piezoelektrischem Trägheitsantrieb werden in verschiedenen Anwendungen eingesetzt, in denen eine hochpräzise Positionierung auf submikroskopischer Ebene erforderlich ist. Beispiele für Anwendungen sind die Mikro- und Nanofertigung, optische Mikroskopie, Halbleiterindustrie, Biotechnologie, Laserbearbeitung und viele andere Bereiche, in denen eine präzise und feine Bewegungskontrolle erforderlich ist.

Positionierer