Laboranlagen mit Rundkathoden

1. Homogene Schichtdicke: Die Rundkathodenkonfiguration ermöglicht eine gleichmäßige Verteilung des abgeschiedenen Materials auf dem Substrat. Dies ist wichtig, um reproduzierbare Ergebnisse in Forschung und Entwicklung zu erzielen.
2. Mehrere Materialien: In Laboranlagen mit Rundkathoden können oft mehrere Kathoden eingebaut werden. Dadurch können verschiedene Materialien nacheinander oder gleichzeitig abgeschieden werden, was die Flexibilität in der Materialforschung und -entwicklung erhöht.
3. Geringe Partikelbildung: Durch die spezielle Konfiguration der Rundkathoden wird die Partikelbildung während des Sputterprozesses reduziert, was zu hochwertigen dünnen Schichten führt.
4. Reine Schichten: Die Kathoden können aus reinem Material bestehen, was die Möglichkeit bietet, hochreine Schichten abzuscheiden, die in der Analyse oder bei empfindlichen Anwendungen benötigt werden.
5. Anpassbare Prozessparameter: Laboranlagen mit Rundkathoden ermöglichen oft eine einfache Anpassung verschiedener Prozessparameter wie Gasfluss, Druck und Leistung, um die Schichteigenschaften zu optimieren.
6. Flexibilität und Skalierbarkeit: Diese Art von Anlagen bietet oft eine gute Balance zwischen Flexibilität für die Forschung und Entwicklung sowie Skalierbarkeit für kleinere Produktionsanforderungen.

Einzelne Rundkathoden

Rechteckkathoden

Batchanlagen