Vakuumkammer KIVOS

• Modulares Design: Ein würfelförmiger Edelstahlrahmen bildet die Basis, an den sechs Metallplatten (Module) aus Edelstahl oder Aluminium angebracht werden. Dieses Design ermöglicht einen einfachen Austausch oder die Anpassung der Module entsprechend spezifischer Anforderungen. citeturn0search3
• Verschiedene Standardgrößen: Die KIVOS-Kammern sind in drei Standardgrößen erhältlich:
  • KIVOS 350: Innenmaße 350 x 350 x 350 mm, Volumen 0,043 m³
  • KIVOS 500: Innenmaße 500 x 500 x 500 mm, Volumen 0,125 m³
  • KIVOS 750: Innenmaße 750 x 750 x 750 mm, Volumen 0,422 m³
  Auf Anfrage sind auch individuelle Größen bis zu einem Volumen von 1 m³ möglich. citeturn0search0
• Materialien und Dichtungen: Der Rahmen besteht aus Edelstahl, die Module aus Aluminium oder Edelstahl, je nach Anwendung. Die Dichtungen sind aus VITON gefertigt, mit einer Leckrate von < 5×10⁻⁵ mbar×l/s. citeturn0search0
• Anpassbare Vakuumerzeugung: Das Pumpsystem wird spezifisch für die jeweilige Anwendung konzipiert. Es können verschiedene Pumpentypen wie Drehschieberpumpen, Wälzkolbenpumpen und Turbomolekularpumpen eingesetzt werden, abhängig von den Anforderungen an Durchsatz und Enddruck. citeturn0search0
• Flexible Plasmaquellen: Je nach Bedarf können unterschiedliche Plasmaquellen wie DC, MF, RF oder MW integriert werden, um den spezifischen Prozessanforderungen gerecht zu werden. citeturn0search0

Rahmenmaterial: Edelstahl

Modulmaterial: Aluminium oder Edelstahl

Leckrate: < 5×10-5 mbar×l/s