Mehrkammeranlagen nach Kundenwunsch

1. Mehrere Prozesskammern:
   • Diese Anlagen verfügen über mehrere Prozesskammern, die jeweils für verschiedene Bearbeitungsschritte konfiguriert sind, wie Reinigung, Ätzen, Beschichten, Sputtern, Trockenätzen usw.
   • Jede Prozesskammer kann mit spezifischen Geräten und Ausrüstungen ausgestattet werden, die für den jeweiligen Prozess erforderlich sind.
2. Vakuumkammern und Substrattransport:
   • Die Prozesskammern sind in einem geschlossenen Vakuumsystem angeordnet, das einen kontinuierlichen Vakuumbetrieb während des gesamten Prozesses gewährleistet.
   • Ein Substrattransportsystem wird verwendet, um die Substrate zwischen den verschiedenen Prozesskammern zu transportieren, ohne das Vakuum zu unterbrechen. Dies kann durch Roboterarme, Transfereinheiten, Kassetten oder Schiebersysteme erfolgen.
3. Kontrollierte Umgebungsbedingungen:
   • Die Umgebungsbedingungen in den Prozesskammern können sorgfältig kontrolliert und eingestellt werden, einschließlich des Drucks, der Temperatur, der Gaszusammensetzung usw., um die Bedingungen für den jeweiligen Prozess zu optimieren.
   • Die präzise Kontrolle dieser Umgebungsbedingungen ermöglicht die Erzielung reproduzierbarer Ergebnisse und eine verbesserte Qualität der bearbeiteten Materialien.
4. Anwendungen:
   • Mehrkammeranlagen mit Substrattransport unter Vakuum finden in einer Vielzahl von Anwendungen Anwendung, darunter die Halbleiterfertigung, die Optik, die Solarzellenherstellung, die Beschichtungstechnologie, die Mikrosystemtechnik und andere Hochtechnologiebereiche.
   • Sie sind besonders geeignet für Prozesse, die eine hohe Reinheit, Präzision und Reproduzierbarkeit erfordern, sowie für die Herstellung von komplexen Strukturen und Materialien.

Schleusenkammern

Transferkammern