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Mehrkammeranlagen nach Kundenwunsch

Mehrkammeranlagen nach Kundenwunsch

Aurion Anlagentechnik GmbH

63500-D Seligenstadt
        14 Am Sandborn

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Mehrkammeranlagen nach Kundenwunsch


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Beschreibung
AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrattransport unter Vakuum an. Die erhältlichen Konfigurationen umfassen Schleusenkammern, Vorbehandlungskammern und Sputterkammern. Die Ausrichtung ist vertikal oder horizontal.
Produktparameter

Schleusenkammern

Transferkammern

Bilder

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©  Itsbetter