Ätzen mit Atmosphärendruckplasma

Ätzen mit Atmosphärendruckplasma von Aurion Anlagentechnik GmbH

Aurion Anlagentechnik GmbH

63500-D Seligenstadt
14 Am Sandborn

+49 6182 96280

+49 6182 962816

Ätzen mit Atmosphärendruckplasma

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Beschreibung

Plasmaverfahren
Komplette Systeme für die Behandlung von und Beschichtung auf Oberflächen mittels PlasmaprozessenAktivierung, Reinigung und Ätzen mit Atmosphärendruckplasma, Reaktivem Ionenätzen (RIE) und Mikrowellen Downstream PlasmaBeschichtung durch Physical Vapour Deposition (PVD, Sputtern) und Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD)

Produktparameter

Sehr gutes Haftvermögen

Bessere Homogenität

Hohe Prozeßstabilität

Bilder

Ätzen mit Atmosphärendruckplasma

Plasmaanlagen von Aurion Anlagentechnik GmbH

Komponenten und komplette Systeme zur plasmagestützten Oberflächenbehandlung

Plasmaoberflächentechnik sowohl zur Reinigung und Modifikation als auch für Beschichtungs- und Ätzprozesse (PVD, PECVD, RIE, Mikrowelle).

Sputteranlagen in verschiedensten Konfigurationen

Ätzen mit Atmosphärendruckplasma

Aktivierung mit Atmosphärendruckplasma

Beschichtung durch Physical Vapour Deposition

Ätzen von Halbleiterbauelementen mit Plasma

KIVOS-Vakuumkammer

Sputteranlagen nach Kundenwunsch

Plasmasysteme aller Art

Training in the fields of Plasma Technology and High-Frequency Technology

Sputtering Systems in various configurations

All kinds of Plasma Systems

Sputtering Systems According to Customer Requirements

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