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Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum

Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum von Aurion Anlagentechnik GmbH

Aurion Anlagentechnik GmbH

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Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum


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Beschreibung

Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum

Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum sind fortschrittliche Systeme für die hochpräzise Materialbearbeitung und Beschichtung. Sie bestehen aus mehreren vakuumgekoppelten Prozesskammern, die durch automatisierte Transfersysteme verbunden sind. Dadurch ermöglichen sie kontaminationsfreie Prozesse, eine hohe Durchsatzrate und gleichbleibende Qualität.

Eigenschaften von Mehrkammer-Vakuumanlagen

🔹 Modularer Aufbau mit separaten Kammern für verschiedene Prozesse
🔹 Automatisierte Substrathandhabung für schnellen Transfer zwischen den Kammern
🔹 Hohe Prozessreinheit durch geschlossene Vakuumumgebung
🔹 Integration von Sputtern, PECVD, ALD, Ätzen oder Plasmabehandlungen
🔹 Präzise Prozesssteuerung für exakte Reproduzierbarkeit

Anwendungsbereiche

1. Halbleitertechnik & Mikroelektronik

Dünnschichtabscheidung für Mikrochips & MEMS-Bauteile
Trockenätzen für Strukturierung von Halbleiterwafern
ALD-Schichten für hochpräzise Bauelemente

2. Optische Beschichtungen

Entspiegelungs- und Reflexionsschichten für Optiken & Displays
Laser- und Präzisionsoptiken mit Mehrfachbeschichtungen
Dünnschichten für VR-/AR-Technologien

3. Medizintechnik & Biotechnologie

Sterile & biokompatible Beschichtungen für Implantate
Antimikrobielle Oberflächen für chirurgische Instrumente
Plasmareinigung für medizinische Sensoren

4. Luft- und Raumfahrt & Automobilindustrie

Hitzeschutz- und Verschleißschutzbeschichtungen für Triebwerke
Korrosionsbeständige Schichten für Raumfahrtkomponenten
Funktionsschichten für Brennstoffzellen & Sensoren

Vorteile von Mehrkammeranlagen

Höchste Reinheit & Prozesskontrolle durch Vakuumtransfers
Effiziente Massenproduktion durch parallele Verarbeitung
Reduzierung von Ausschuss & Kontamination
Flexibilität für verschiedene Materialien & Technologien
Automatisierte Substrathandhabung für maximale Prozessstabilität

Fazit

Mehrkammer-Vakuumanlagen sind die Zukunft der Hochtechnologie-Fertigung. Sie bieten präzise, saubere und reproduzierbare Prozesse für Halbleiter, Optik, Medizintechnik und mehr. Dank modularer Bauweise und Automatisierung sind sie ideal für industrielle Serienproduktion und Forschungseinrichtungen.
Produktparameter

Schleusenkammer

Transferkammer

Bilder

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