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Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum

Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum von Aurion Anlagentechnik GmbH

Aurion Anlagentechnik GmbH

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Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum


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Beschreibung
Cluster-Anlagen AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum an. Die erhältlichen Konfigurationen umfassen Schleusenkammern, Transferkammern und Prozessmodule für Sputter- und RIE-Prozesse.
Produktparameter

Schleusenkammer

Transferkammer

Bilder

Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum


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