Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum

Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum von Aurion Anlagentechnik GmbH

Aurion Anlagentechnik GmbH

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Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum

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Beschreibung

Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum

Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum sind fortschrittliche Systeme für die hochpräzise Materialbearbeitung und Beschichtung. Sie bestehen aus mehreren vakuumgekoppelten Prozesskammern, die durch automatisierte Transfersysteme verbunden sind. Dadurch ermöglichen sie kontaminationsfreie Prozesse, eine hohe Durchsatzrate und gleichbleibende Qualität.

Eigenschaften von Mehrkammer-Vakuumanlagen

🔹 Modularer Aufbau mit separaten Kammern für verschiedene Prozesse
🔹 Automatisierte Substrathandhabung für schnellen Transfer zwischen den Kammern
🔹 Hohe Prozessreinheit durch geschlossene Vakuumumgebung
🔹 Integration von Sputtern, PECVD, ALD, Ätzen oder Plasmabehandlungen
🔹 Präzise Prozesssteuerung für exakte Reproduzierbarkeit

Anwendungsbereiche

1. Halbleitertechnik & Mikroelektronik

✔ Dünnschichtabscheidung für Mikrochips & MEMS-Bauteile
✔ Trockenätzen für Strukturierung von Halbleiterwafern
✔ ALD-Schichten für hochpräzise Bauelemente

2. Optische Beschichtungen

✔ Entspiegelungs- und Reflexionsschichten für Optiken & Displays
✔ Laser- und Präzisionsoptiken mit Mehrfachbeschichtungen
✔ Dünnschichten für VR-/AR-Technologien

3. Medizintechnik & Biotechnologie

✔ Sterile & biokompatible Beschichtungen für Implantate
✔ Antimikrobielle Oberflächen für chirurgische Instrumente
✔ Plasmareinigung für medizinische Sensoren

4. Luft- und Raumfahrt & Automobilindustrie

✔ Hitzeschutz- und Verschleißschutzbeschichtungen für Triebwerke
✔ Korrosionsbeständige Schichten für Raumfahrtkomponenten
✔ Funktionsschichten für Brennstoffzellen & Sensoren

Vorteile von Mehrkammeranlagen

✅ Höchste Reinheit & Prozesskontrolle durch Vakuumtransfers
✅ Effiziente Massenproduktion durch parallele Verarbeitung
✅ Reduzierung von Ausschuss & Kontamination
✅ Flexibilität für verschiedene Materialien & Technologien
✅ Automatisierte Substrathandhabung für maximale Prozessstabilität

Fazit

Mehrkammer-Vakuumanlagen sind die Zukunft der Hochtechnologie-Fertigung. Sie bieten präzise, saubere und reproduzierbare Prozesse für Halbleiter, Optik, Medizintechnik und mehr. Dank modularer Bauweise und Automatisierung sind sie ideal für industrielle Serienproduktion und Forschungseinrichtungen.

Produktparameter

Schleusenkammer

Transferkammer

Bilder

Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum

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