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Pumpstand zur Vakuumerzeugung

Pumpstand zur Vakuumerzeugung von Aurion Anlagentechnik GmbH

Aurion Anlagentechnik GmbH

63500-D Seligenstadt
        14 Am Sandborn

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Pumpstand zur Vakuumerzeugung wird speziell für die jeweilige Anwendung ausgelegt


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Beschreibung
Ein Pumpstand zur Vakuumerzeugung ist eine Anordnung von Vakuumpumpen und Zubehör, die in der Vakuumtechnik verwendet wird, um ein Vakuum in einer Vakuumkammer oder einem Vakuumsystem zu erzeugen. Diese Pumpstände sind entscheidend für viele Anwendungen, wie beispielsweise in der Halbleiterfertigung, der Materialwissenschaft, der Oberflächenbeschichtung und der physikalischen Forschung. Hier sind einige wichtige Aspekte eines Pumpstands zur Vakuumerzeugung:
  1. Pumpenarten:
    • Pumpstände zur Vakuumerzeugung können eine oder mehrere Arten von Vakuumpumpen enthalten, je nach den Anforderungen des Vakuumsystems. Zu den häufig verwendeten Pumpenarten gehören:
      • Mechanische Pumpen (wie Drehschieberpumpen, Flügelzellenpumpen, Turbomolekularpumpen)
      • Ölfreie Pumpen (wie Trockenlaufende Scrollpumpen, Membranpumpen)
      • Kryopumpen
      • Ionengetterpumpen
      • Turbomolekularpumpen
      • Diffusionspumpen
      • Sorptionspumpen
  2. Anordnung und Konfiguration:
    • Die Pumpen werden in einer bestimmten Anordnung auf einem Gestell montiert, um eine effiziente Vakuumerzeugung zu gewährleisten.
    • Die Konfiguration und Anordnung der Pumpen hängt von verschiedenen Faktoren ab, wie z.B. dem gewünschten Vakuumniveau, dem Pumpvolumen, den Gasarten, die abgepumpt werden sollen, und den betrieblichen Anforderungen.
  3. Zubehör:
    • Neben den Pumpen kann ein Pumpstand weitere Komponenten und Zubehörteile umfassen, wie beispielsweise Vakuumventile, Vakuummessgeräte (wie Pirani-Messgeräte, Kaltkathoden-Ionenmessgeräte, Penning-Messgeräte), Druckregler, Vakuumkammern, Leitungen, Filtersysteme und Kühleinrichtungen.
    • Das Zubehör wird verwendet, um den Vakuumprozess zu steuern, zu überwachen und zu optimieren sowie um die Betriebssicherheit und Effizienz zu gewährleisten.
  4. Steuerung und Automatisierung:
    • Moderne Pumpstände verfügen oft über Steuerungssysteme, die die Pumpensteuerung, Drucküberwachung und andere Funktionen automatisieren können.
    • Automatisierte Pumpstände können programmierbare Logikcontroller (PLC), Schnittstellen zur Fernsteuerung und Überwachung sowie Software zur Datenerfassung und Analyse umfassen.
  5. Anwendungen:
    • Pumpstände zur Vakuumerzeugung finden in einer Vielzahl von Anwendungen Anwendung, darunter die Halbleiterherstellung, die physikalische Forschung, die Materialwissenschaft, die Oberflächenbeschichtung, die Lebensmittelverarbeitung, die Analytik und vieles mehr.
Insgesamt sind Pumpstände zur Vakuumerzeugung unverzichtbare Komponenten in der Vakuumtechnik, die eine effiziente Vakuumerzeugung ermöglichen und eine Vielzahl von Anwendungen in verschiedenen Branchen unterstützen.
Produktparameter

Drehschieberpumpen mit einem Nennsaugvermögen von max. 2,5 bis 250 m³/h

5×10-3 mbar

Standard- als auch in Korrosivgasausführung

Bilder

Pumpstand zur Vakuumerzeugung

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