Pumpstand zur Vakuumerzeugung
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Pumpstand zur Vakuumerzeugung wird speziell für die jeweilige Anwendung ausgelegt
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Pumpstand zur Vakuumerzeugung
Ein Pumpstand zur Vakuumerzeugung ist eine Kombination aus verschiedenen Vakuumpumpen, Ventilen und Steuerungssystemen, die für die Erzeugung und Aufrechterhaltung eines Vakuums in industriellen, wissenschaftlichen oder forschungstechnischen Anwendungen eingesetzt werden.1. Aufbau eines Pumpstandes
Ein typischer Pumpstand besteht aus: ✅ Vorpumpe (Grobvakuumpumpe)- Erzeugt ein Vorvakuum, um Hoch- oder Ultrahochvakuumpumpen zu unterstützen
- Typen: Drehschieberpumpe, Membranpumpe, Scrollpumpe
- Erreicht niedrige Drücke für spezialisierte Anwendungen
- Typen: Turbomolekularpumpe, Diffusionspumpe, Kryopumpe, Ionengetterpumpe
- Pirani-Sensor (Grobvakuum)
- Kaltkathoden- oder Heißkathoden-Ionisationssensor (Feinvakuum bis Ultrahochvakuum)
- Regelventile zur Steuerung des Pumpvorgangs
- Automatisierte Steuerung zur Druckregelung
2. Typische Anwendungen
🔹 Halbleiterfertigung (PVD, PECVD, RIE, Sputtern)🔹 Forschung und Entwicklung (Teilchenbeschleuniger, Materialanalytik)
🔹 Beschichtungsanlagen (Dünnfilmbeschichtung, Optik, Glas)
🔹 Vakuumtrocknung (Medizintechnik, Lebensmittelindustrie)
🔹 Massenspektrometrie und Analysegeräte
3. Auswahlkriterien für einen Pumpstand
✔ Erforderlicher Enddruck (Grobvakuum, Hochvakuum oder Ultrahochvakuum)✔ Pumpleistung (l/s oder m³/h)
✔ Art der Anwendung (Reinraum, aggressive Gase, Hochtemperatur)
✔ Wartungsaufwand und Betriebskosten
Fazit
Ein Pumpstand ist essenziell für industrielle und wissenschaftliche Anwendungen, die Vakuum benötigen. Die Auswahl der richtigen Pumpenkombination hängt von der geforderten Druckstufe, Durchsatzleistung und Anwendung ab.Drehschieberpumpen mit einem Nennsaugvermögen von max. 2,5 bis 250 m³/h
5×10-3 mbar
Standard- als auch in Korrosivgasausführung
Pumpstand zur Vakuumerzeugung
