Anpassen einer Plasmaimpedanz an die Ausgangsimpedanz

Aurion Anlagentechnik GmbH

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Anpassen einer Plasmaimpedanz an die Ausgangsimpedanz

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Beschreibung

Die Hochfrequenz-Anpassungsnetzwerke der PRODIK-Serie dienen zum vollautomatischen Anpassen einer Plasmaimpedanz an die Ausgangsimpedanz eines HF-Generators mit einer Nennfrequenz von 13,56 MHz. Verschiedene Schaltungen ermöglichen die unproblematische und verlustarme Anpassung von Dioden, Magnetron-Kathoden und großen Planarelektroden für PECVD und Ätzen (Mikroelektronik, Displaytechnik etc.).

Die Netzwerke (Matchboxen) sind optimiert für höchste Prozeßstabilität und bieten führende Meß- und Regeltechnik. Daraus resultiert optimale Bedienerfreundlichkeit und beste Prozeßkontrolle.

Produktparameter

Magnetron-Kathoden

Dioden

Bilder

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