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Oberflächenreinigung mit Trockenätzung

Oberflächenreinigung mit Trockenätzung

Aurion Anlagentechnik GmbH

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Oberflächenreinigung mit Trockenätzung


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Beschreibung
Der RIE-Prozeß (Reactive Ion Etching) ist ein Trockenätzverfahren, welches vor allem in der Elektronik- und Mikroelektronikfertigung zur schnellen Oberflächenreinigung bzw. -aktivierung, zur Veraschung von Fotolack oder zur Strukturierung von Schaltungen auf Halbleiterwafern eingesetzt wird.
Produktparameter

RIE-Prozeß

Bilder

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