Trockenätzverfahren zur schnellen Oberflächenreinigung

1. Plasmaätzen:
   • Plasmaätzen ist ein Verfahren, bei dem ein Plasma verwendet wird, um Materialien selektiv von der Oberfläche zu entfernen. Das Plasma besteht aus ionisierten Gasen, die chemische Reaktionen mit der Oberfläche des Materials eingehen und es ablösen oder aufbrechen.
   • Plasmaätzverfahren können eine Vielzahl von Materialien reinigen, einschließlich Metalle, Halbleiter, Polymere und Glas. Sie bieten eine schnelle und präzise Reinigung bei niedrigen Temperaturen und minimaler Beeinträchtigung der Substratoberfläche.
2. Trockeneisstrahlen:
   • Beim Trockeneisstrahlen wird festes Kohlendioxid (Trockeneis) mit hoher Geschwindigkeit auf die Oberfläche geblasen. Die kinetische Energie des Trockeneises löst Verunreinigungen von der Oberfläche und erzeugt dabei einen Kälteschock, der die Verunreinigungen einfriert und bricht.
   • Trockeneisstrahlen ist besonders effektiv bei der Entfernung von organischen Rückständen, Farben, Beschichtungen und klebrigen Substanzen. Es hinterlässt keine Feuchtigkeit oder Rückstände und eignet sich gut für empfindliche Oberflächen.
3. Sauerstoffplasma-Reinigung:
   • Dieses Verfahren nutzt ein Sauerstoffplasma, um organische Verunreinigungen von der Oberfläche zu entfernen. Das Plasma oxidiert die organischen Materialien und wandelt sie in gasförmige Verbindungen um, die leicht von der Oberfläche abgeführt werden können.
   • Sauerstoffplasma-Reinigung ist besonders effektiv bei der Entfernung von organischen Verunreinigungen wie Ölen, Fetten, Polymeren und organischen Schichten.
4. UV-Ozon-Reinigung:
   • UV-Ozon-Reinigung nutzt ultraviolettes Licht in Kombination mit Ozon, um organische Verunreinigungen von Oberflächen zu entfernen. Das UV-Licht erzeugt reaktive Sauerstoffradikale aus dem Ozon, die organische Moleküle oxidieren und abbauen.
   • UV-Ozon-Reinigung ist schonend und hinterlässt keine Rückstände auf der Oberfläche. Sie eignet sich gut für empfindliche Materialien wie Polymere und organische Substanzen.

Beschichtung

Aktivierung von Kunststoffoberflächen

Hoher Entfettungsgrad

Hohe Spaltgängigkeit

Aktivieren und Reinigen von Oberflächen