Gestell für Plasmasysteme

1. Robuste Konstruktion: Das Gestell besteht aus hochwertigen Materialien wie Stahl oder Aluminium, um eine stabile und dauerhafte Struktur zu gewährleisten. Die Konstruktion muss den Anforderungen des jeweiligen Plasmasputterprozesses und den Betriebsbedingungen standhalten.
2. Modulares Design: Das Gestell ist in der Regel modular aufgebaut, um eine einfache Montage und Anpassung an die spezifischen Anforderungen des Systems zu ermöglichen. Es besteht aus verschiedenen Komponenten wie Rahmen, Halterungen, Stützen und Befestigungselementen, die je nach Bedarf konfiguriert werden können.
3. Integration von Komponenten: Das Gestell bietet Befestigungsmöglichkeiten für verschiedene Komponenten der Plasmasputteranlage, einschließlich der Vakuumkammer, der Hochvakuum-Pumpen, der Plasmaquellen, der Stromversorgungen, der Gasversorgungssysteme und anderer Peripheriegeräte.
4. Einstellbarkeit: Das Gestell kann häufig in der Höhe, Breite und Ausrichtung angepasst werden, um eine optimale Positionierung der Anlagenkomponenten zu ermöglichen und eine einfache Integration in bestehende Labor- oder Fertigungsumgebungen zu gewährleisten.
5. Stabilität und Vibrationsdämpfung: Das Gestell ist so konstruiert, dass es eine stabile Plattform für den Betrieb des Plasmasputtersystems bietet und Vibrationen minimiert, die die Prozessstabilität und -qualität beeinträchtigen könnten.
6. Einhaltung von Sicherheitsstandards: Das Gestell sollte den geltenden Sicherheitsstandards und Vorschriften entsprechen, um die Sicherheit der Benutzer und die Einhaltung von Umweltvorschriften zu gewährleisten.

Kammer

Pumpstand

Generatoren