kompakte und preisgünstige Plasmaquellen

Kompakte und preisgünstige Plasmaquellen

Was sind Plasmaquellen?

Plasmaquellen erzeugen ein ionisiertes Gas (Plasma) zur Reinigung, Aktivierung, Beschichtung oder Ätzung von Oberflächen. Moderne kompakte Plasmaquellen sind kosteneffizient, einfach zu integrieren und für industrielle sowie wissenschaftliche Anwendungen geeignet.

Arten kompakter Plasmaquellen

1. Atmosphärische Plasmaquellen (Druckplasma)

🔹 Plasmajets & Plasmatronen
✔ Keine Vakuumkammer erforderlich → einfache Integration in Produktionslinien
✔ Einsatz in der Oberflächenaktivierung, Reinigung und Modifikation
✔ Typische Gase: Luft, O₂, N₂, Ar
✔ Anwendung: Automobil, Kunststoff-, Elektronik-, Verpackungsindustrie 🔹 Dielektrisch behinderte Entladung (DBE/DBD-Plasma)
✔ Homogene Oberflächenbehandlung
✔ Niedrige Betriebstemperatur (geeignet für empfindliche Materialien)
✔ Anwendung: Medizintechnik, Textilbehandlung, Verpackung

2. Niederdruck-Plasmaquellen

🔹 RF- oder Mikrowellen-Plasmaquellen
✔ Arbeiten in einer Vakuumkammer für präzisere Behandlung
✔ Einsatz in der Halbleiter-, Optik- und Medizintechnik
✔ Reinigung, Aktivierung und Beschichtung mit hoher Gleichmäßigkeit
✔ Typische Gase: O₂, N₂, CF₄, Ar 🔹 Induktiv gekoppeltes Plasma (ICP)
✔ Hohe Effizienz durch induktive Energieübertragung
✔ Verwendung in Ätz- und Beschichtungsprozessen
✔ Anwendung: Mikroelektronik, Sensortechnik, Nanotechnologie

Vorteile kompakter Plasmaquellen

✅ Geringe Investitionskosten (preisgünstig für kleinere Betriebe und Forschungseinrichtungen)
✅ Einfache Integration in bestehende Fertigungsprozesse
✅ Keine oder geringe Vakuumanforderungen (besonders bei atmosphärischen Plasmen)
✅ Schnelle Bearbeitung für industrielle Anwendungen
✅ Umweltfreundlich (keine chemischen Lösungsmittel erforderlich)

Fazit

Kompakte und preisgünstige Plasmaquellen sind ideal für die Aktivierung, Reinigung und Modifikation von Oberflächen in der Industrie, Forschung und Medizintechnik. Atmosphärische Plasmen eignen sich für Inline-Prozesse, während Niederdruckplasmen eine präzisere Behandlung ermöglichen. In Zusammenarbeit mit dem Ferdinand-Braun-Institut für Höchstfrequenztechnik, Berlin, wurden diese neuartigen, äußerst kompakten und preisgünstigen Plasmaquellen entwickelt. Die Modelle der AURION IMAPlaS Serie können zum Aktivieren und Reinigen von Oberflächen aller Art eingesetzt werden, außerdem zum Abtragen diverser Materialien. Sie kommen so in weiten Gebieten der Mikroelektronik, Elektronik, Optik, Sensortechnik, Medizintechnik und verschiedensten weiteren Industriesegmenten zur Anwendung. Es handelt sich um voll integrierte, gebrauchsfertige Geräte in verschiedenen Konfigurationen.

Aktivieren und Reinigen von Oberflächen

Mikroelektronik

Medizintechnik