Ätzen von Halbleiterbauelementen mit Plasma

Laut Definition ist ein Plasma ein teilweise ionisiertes Gas, welches oft auch als der vierte Aggregatzustand der Materie bezeichnet wird. Phänomene wie zum Beispiel ein Blitz oder das Nordlicht (aurora borealis) sind in der Natur auftretende Plasmen. Technisch können sie durch das Anlegen elektrischer Felder erzeugt werden. Plasmen sind wegen ihrer physikalischen und chemischen Eigenschaften interessant. In ihnen werden hochangeregte Teilchen und Radikale generiert. Diese können chemische Reaktionen auslösen, welche unter Normalbedingungen nicht möglich sind. Dabei kann die Temperatur der zu behandelnden Werkstücke sehr niedrig gehalten werden.

Oberflächenbehandlung

Beschichtung