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Beschichtung durch Physical Vapour Deposition

Beschichtung durch Physical Vapour Deposition von Aurion Anlagentechnik GmbH

Aurion Anlagentechnik GmbH

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Beschichtung durch Physical Vapour Deposition


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Beschreibung
Aktivierung, Reinigung und Ätzen mit Atmosphärendruckplasma, Reaktivem Ionenätzen (RIE) und Mikrowellen Downstream PlasmaBeschichtung durch Physical Vapour Deposition (PVD, Sputtern) und Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD)
Produktparameter

PVD

Sputtern

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Beschichtung durch Physical Vapour Deposition


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