Sputteranlagen in verschiedensten Konfigurationen

Sputteranlagen – Hochpräzise PVD-Beschichtungstechnologie

Sputteranlagen sind physikalische Gasphasenabscheidungssysteme (PVD – Physical Vapor Deposition), die durch Kathodenzerstäubung (Sputtern) extrem dünne, hochpräzise Schichten auf verschiedene Materialien aufbringen. Sie sind essenziell für Branchen wie Halbleitertechnologie, Optik, Medizintechnik, Luft- und Raumfahrt sowie Sensorik.

Funktionsweise einer Sputteranlage

1️⃣ Erzeugung eines Plasmas in einer Vakuumkammer mit einem Inertgas (z. B. Argon)
2️⃣ Ionisierung des Gases durch Hochfrequenz- (RF) oder Gleichstromspannung (DC)
3️⃣ Ionen bombardieren das Targetmaterial und schlagen Atome heraus
4️⃣ Freigesetzte Atome setzen sich als dünne Schicht auf dem Substrat ab

Arten von Sputterverfahren

✔ DC-Sputtern – Ideal für leitfähige Materialien wie Metalle
✔ RF-Sputtern – Ermöglicht die Abscheidung von nichtleitenden Materialien (Oxide, Keramiken)
✔ Magnetron-Sputtern – Höhere Abscheideraten durch magnetisch unterstützte Plasmaerzeugung
✔ Reaktives Sputtern – Kombiniert mit reaktiven Gasen (z. B. O₂, N₂) zur Erzeugung von Oxid- oder Nitridschichten
✔ Co-Sputtering – Gleichzeitige Abscheidung mehrerer Materialien für Legierungsschichten

Anwendungsbereiche von Sputteranlagen

1. Halbleiter- & Mikroelektronikindustrie

✅ Herstellung von Leiterschichten und Dünnfilmkontakten
✅ Passivierungs- und Barriereschichten für Mikrochips & Sensoren
✅ Antireflex- und Schutzbeschichtungen für Solarzellen

2. Optische Beschichtungen & Display-Technologie

✅ Entspiegelungsschichten (AR) für Brillengläser & Kameralinsen
✅ Hochreflektierende Spiegel für Laseroptiken & Teleskope
✅ Transparent leitfähige Schichten für Touchscreens & OLEDs

3. Medizintechnik & Biotechnologie

✅ Biokompatible Beschichtungen für Implantate & Katheter
✅ Antibakterielle Silber- und Titanoxidschichten
✅ Verschleißschutz für medizinische Instrumente

4. Luft- und Raumfahrt & Automobilindustrie

✅ Verschleißschutzbeschichtungen für Triebwerkskomponenten
✅ Hochfeste Hartstoffschichten für Werkzeuge & mechanische Bauteile
✅ Wärmebarrieren für Raumfahrttechnologien

Vorteile von Sputteranlagen

✅ Präzise Schichtdicke & gleichmäßige Beschichtung
✅ Hervorragende Haftung und Dichte der Schichten
✅ Große Materialvielfalt: Metalle, Oxide, Nitrate, Kohlenstoffe
✅ Niedrige Prozesstemperaturen – ideal für temperaturempfindliche Substrate
✅ Industrie- & Laborlösungen für Serienproduktion & Forschung

Fazit

Sputteranlagen ermöglichen hochwertige, präzise und langlebige Beschichtungen für eine Vielzahl von Industrien. Dank der modularen Bauweise und Automatisierung sind sie sowohl für die Massenproduktion als auch für spezialisierte Forschungsanwendungen bestens geeignet.

Mit einzelnen Rundkathoden

Batchanlagen mit Rechteckkathoden

Durchlaufanlagen