Plasmaoberflächentechnik sowohl zur Reinigung und Modifikation als auch für Beschichtungs- und Ätzprozesse (PVD, PECVD, RIE, Mikrowelle).

Plasmareinigung – Rückstandsfreie und Umweltfreundliche Oberflächenreinigung

Die Plasmareinigung ist eine chemikalienfreie und effiziente Methode zur Entfernung von organischen und anorganischen Verunreinigungen auf Oberflächen. Sie wird in High-Tech-Industrien wie Halbleitertechnik, Medizintechnik, Automobilbau und Luftfahrt eingesetzt, um höchste Reinheit und Haftungseigenschaften zu gewährleisten.

Wie funktioniert die Plasmareinigung?

Bei der Plasmareinigung wird ein Prozessgas (z. B. Sauerstoff, Argon, Wasserstoff oder Stickstoff) durch Hochfrequenzenergie (RF, Mikrowelle) ionisiert. Dadurch entstehen reaktive Teilchen (Ionen, Radikale, UV-Strahlung), die: 🔹 Organische Kontaminationen (Öle, Fette, Silikone) zersetzen
🔹 Feinste Partikel und Staub entfernen
🔹 Oxidschichten reduzieren (bei Metalloberflächen)
🔹 Materialoberflächen aktivieren und benetzbar machen

Anwendungsbereiche der Plasmareinigung

1. Halbleiter- & Mikroelektronikindustrie

✔ Entfernung von Fetten, Rückständen & Partikeln auf Wafern & Chips
✔ Reinigung von Leiterplatten vor der Bestückung
✔ Plasmaätzen (RIE, DRIE) für hochpräzise Strukturierung

2. Medizintechnik & Biotechnologie

✔ Sterilisation & Reinigung von Implantaten und chirurgischen Instrumenten
✔ Aktivierung von Kunststoffen für verbesserte Biokompatibilität
✔ Entfernung von Proteinen & Rückständen in Labortechnik

3. Automobil- & Luftfahrtindustrie

✔ Reinigung von Metall- und Kunststoffteilen vor der Beschichtung
✔ Verbesserung der Haftung für Lacke, Klebstoffe & Dichtmittel
✔ Entfernung von Kohlenstoffablagerungen in Motorkomponenten

4. Optik & Sensorik

✔ Plasmareinigung von Linsen, Glasfasern & Sensoren
✔ Antireflex-Beschichtungen & dünne Schutzschichten vorbereiten
✔ Partikelfreie Reinigung für hochpräzise optische Systeme

Vorteile der Plasmareinigung

✅ Rückstandsfreie Reinigung – Keine chemischen Rückstände oder Lösungsmittel
✅ Materialschonend – Kein abrasiver Kontakt, ideal für empfindliche Materialien
✅ Erhöhte Haftungseigenschaften – Oberflächen sind optimal für Klebstoffe, Lacke oder Beschichtungen vorbereitet
✅ Schnell & umweltfreundlich – Keine aggressiven Chemikalien oder aufwändige Entsorgung
✅ Hohe Prozesssicherheit & Reproduzierbarkeit – Ideal für industrielle Anwendungen

Fazit

Die Plasmareinigung ist eine präzise, umweltfreundliche und hocheffiziente Lösung für die industrielle Oberflächenbehandlung. Sie gewährleistet höchste Reinheit und verbessert die Haftungseigenschaften von Materialien, ohne den Einsatz von Lösungsmitteln oder mechanischer Reinigung.

Ätzen mit Atmosphärendruckplasma

Hoher Entfettungsgrad

Hohe Spaltgängigkeit