Komponenten und komplette Systeme zur plasmagestützten Oberflächenbehandlung

1. Plasmaquelle:
   • Eine Plasmabehandlung wird typischerweise in speziellen Anlagen durchgeführt, die Plasmaquellen enthalten. Die Plasmaquelle kann eine Niederdruck- oder Atmosphärendruckplasmaquelle sein, je nach den Anforderungen der Anwendung.
   • Niederdruckplasmasysteme arbeiten in einer Vakuumkammer und erzeugen Plasma durch Entladung eines Gases bei niedrigem Druck. Atmosphärendruckplasmasysteme hingegen arbeiten unter normalen atmosphärischen Bedingungen.
2. Prozessparameter:
   • Die Parameter der plasmagestützten Oberflächenbehandlung müssen sorgfältig gesteuert werden, um die gewünschten Effekte zu erzielen. Dazu gehören Faktoren wie die Auswahl des Gases, die Gasflussrate, die Entladungsleistung, die Behandlungszeit und die Temperatur.
   • Diese Parameter können je nach Anwendung und den spezifischen Anforderungen der Oberfläche variiert werden.
3. Effekte der Plasmabehandlung:
   • Die Plasmabehandlung kann verschiedene Effekte auf der Oberfläche eines Materials erzeugen. Dazu gehören die Einführung von funktionellen Gruppen, die Erhöhung der Oberflächenenergie, die Reinigung von Verunreinigungen, die Verbesserung der Benetzbarkeit und die Modifikation der Oberflächenstruktur.
   • Diese Effekte können zu einer verbesserten Haftung von Beschichtungen, Klebstoffen oder Farben führen, die Adhäsion von Zellen in der Biotechnologie verbessern oder die Hydrophobie/Hydrophilie von Oberflächen steuern.
4. Anwendungen:
   • Plasmagestützte Oberflächenbehandlung findet breite Anwendung in verschiedenen Bereichen. Beispiele hierfür sind die Vorbehandlung von Kunststoffen vor dem Kleben, Lackieren oder Bedrucken, die Reinigung von Oberflächen in der Elektronikindustrie, die Modifikation von Medizinprodukten für biologische Kompatibilität und die Verbesserung der Haftung von Beschichtungen auf Glas- oder Metalloberflächen.

Aktivierung, Reinigung und Ätzen mit Atmosphärendruckplasma

Reaktives Ionenätzen