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AURION Compact Microwave

Compact Microwave

Aurion Anlagentechnik GmbH

63500-D Seligenstadt
        14 Am Sandborn

+49 6182 96280

+1 6182 962816

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AURION Compact Microwave


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Beschreibung
  • Compact systems, minimized footprint
  • High plasma densities for short process times
  • Optimized homogeneity by plasma-array with 2-dimensional gas inlet system
  • High loading capacity
Produktparameter

Compact systems

Minimized footprint

High loading capacity

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AURION Compact Microwave

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