microwave downstream plasma of AURION

microwave downstream plasma

Aurion Anlagentechnik GmbH

63500-D Seligenstadt
14 Am Sandborn

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AURION microwave downstream plasma

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Beschreibung

Atmospheric pressure plasma sources, RIE, microwave downstream plasma, PVD (Sputtering) and PECVD systems as well as combinations thereof, including cluster and inline tools.

Produktparameter

Cluster and inline tools

Sputtering

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