AURION PECVD systems

Atmospheric pressure plasma sources

Aurion Anlagentechnik GmbH

63500-D Seligenstadt
14 Am Sandborn

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AURION PECVD systems as well as combinations thereof, including cluster and inline tools.

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Beschreibung

PLASMA SYSTEMS

Atmospheric pressure plasma sources, RIE, microwave downstream plasma, PVD (Sputtering) and PECVD systems as well as combinations thereof, including cluster and inline tools.

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Cluster and inline tools

Sputtering

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AURION PECVD systems

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