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Substrat

Überwachungssysteme für Klebstoff-Aufträge


Überwachungssyst eme für Klebstoff-Aufträge

Produkte: Substrat
Elektrode für plattenförmige Substrate

VHF-PECVD-Elektrode für plattenförmige Substrate VPE 300/1000




Produktparameter


Temperaturen bis 300 °C
Integrierbar in Vakuumkammer mit Substratelektrode
Substratabmessungen Bis 300 mm x 300 mm
Substratelektroden Oberflächentemperatur Bis 300 °C

Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum

Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum von Aurion Anlagentechnik GmbH
Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum

Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum




Produktparameter


Schleusenkammer
Transferkammer

Mehrkammeranlagen mit Substrattransport unter Vakuum

Mehrkammeranlagen mit Substrattransport unter Vakuum
 Mehrkammeranlagen mit Substrattransport unter Vakuum

 Mehrkammeranlagen mit Substrattransport unter Vakuum




Produktparameter


Schleusenkammern
Transferkammern



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