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Plasmaquelle mit koaxialem Helix-Resonator

Anwendung • PECVD von Silizium-Legierungen bei Temperaturen bis 300 °C • Plasmalackentfernung • Plasmabehandlung organischer Materialien • Plasmaätzen, Plasmaaktivierung • Plasmaimmersions-Ionenimplantation • Ebene Substrate mit Durchmesser bis etwa 150 mm • F&E und Fertigung Aufbau • Plasmaquelle mit koaxialem Helix-Resonator • Integrierte automatische Anpassung und VHF/HF-Generator • Gasversorgungssystem • Substratelektrode und Vakuumkammer optional • Einbau- oder Anbauausführung Wesentliche Merkmale und Funktionsweise • Hochrate-Bearbeitung mittels induktiv-kapazitver Einkopplung • Anregung mit Frequenz von 40,68 MHz • Ausführung in Edelstahl mit Metalldichtung oder Aluminium mit Elastomerdichtung • Magnetfeldverstärkung optional • Array-Anordnung optional


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