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Zündhilfe für plasmagestützte Oberflächenbearbeitung

Plasmaquelle mit koaxialem Helix-Resonator • Integrierte VHF-Generator mit automatischer Anpassung • Einbau- oder Anbauausführung Wesentliche Merkmale und Funktionsweise • Induktiv-kapazitve Einkopplung • Automatische oder manuelle Abschaltung nach Zündung der Prozessentladung • 144 MHz-Anregung • Keine Kontamination der Prozesskammer • Integrierter Übertemperaturschutz • Ausführung in Edelstahl mit Metalldichtung oder Aluminium mit Elastomerdichtung • Geringer Platzbedarf


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