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Detektor zur Plasmalichtbogenerkennung

Sion RF, INFICON Sion-Lichtbogendetektor , iPVD, PECVD UND ÄTZPROZESSEN, physikalischen Dampfabscheidung, chemischen Dampfabscheidung

Inficon GmbH

50968-D Köln
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Sion RF-Detektor zur Plasmalichtbogenerkennung. Reduzierte Waferverluste und höhere Ausbeuten


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Beschreibung
Der INFICON Sion-Detektor zur Plasmalichtbogenerkennung stellt eine kritische erste Verteidigungslinie dar. Mithilfe des Sion lassen sich Mikrolichtbögen schnell erkennen und entsprechende Abhilfemaßnahmen einleiten, bevor erhebliche Schäden auftreten oder Ausschuss anfällt. Das System bietet Echtzeiterkennung und Analyse von Plasmamikrolichtbögen. Der Detektor zur Plasmalichtbogenerkennung hat eine Hochgeschwindigkeits-Datenerfassung von 250 khz. Der Detektor zur Plasmalichtbogenerkennung ist einfach nachzurüsten.
Produktparameter

Merkmale : Einfache Nachrüstung vorhandener Werkzeuge Nichtinvasive Sensorinstallation Hochgeschwindigkeits-Daten Integrierte Datenverwaltung mit FabGuard

Hochgeschwindigkeits-Datenerfassung : 250 kHz

Lichtbogenerkennung : iPVD,PECVD, Ätzanwendungen

Bilder

Detektor zur Plasmalichtbogenerkennung sion


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