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Positioniersysteme Ultra High Vacuum MS30

Positioniersysteme für den Einsatz im Vakuum, UHV edition MS30 - 8mm, 18mm, 30mm

mechonics ag

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mechOnics ag Competence in micropositioning: MS30 - 8mm (UHV edition) for ultra-high vacuum conditions up to 10^(-9) mbar 8 mm travel at 30 x 30 mm footprint our all-rounder multi axes combinations without adapter plates


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Beschreibung
Positioniersysteme für den Einsatz im Vakuum, also in vakuumtechnischen Umgebungen oder Hochvakuumbedingungen, müssen spezielle Anforderungen erfüllen, um den Betrieb unter solchen Bedingungen zu gewährleisten. Hier sind einige wichtige Merkmale und Anforderungen für Positioniersysteme im Vakuum:
  1. Vakuumkompatibles Design: Die Positioniersysteme müssen speziell für den Einsatz im Vakuum konstruiert sein. Dies beinhaltet die Verwendung von vakuumkompatiblen Materialien, Dichtungen und Komponenten, die keine Ausgasungen verursachen und keine Kontamination des Vakuumsystems verursachen.
  2. Hochvakuumtauglichkeit: Die Positioniersysteme sollten für den Einsatz in Hochvakuumumgebungen geeignet sein, typischerweise bis zu Drücken im Bereich von 10^-6 bis 10^-9 mbar. Dies erfordert eine spezielle Konstruktion und Abdichtung, um ein Leckagen oder Druckabfall im Vakuum zu vermeiden.
  3. Geringe Partikelbildung: Positioniersysteme im Vakuum müssen minimale Partikel erzeugen, um eine Kontamination des Vakuumsystems zu verhindern. Dies erfordert eine sorgfältige Materialauswahl und Oberflächenbehandlung, um Reibung und Verschleiß zu minimieren.
  4. Temperaturstabilität: Vakuumumgebungen können zu Temperaturschwankungen führen. Die Positioniersysteme sollten eine gute thermische Stabilität aufweisen, um eine präzise Positionierung über einen breiten Temperaturbereich zu gewährleisten.
  5. Präzision und Wiederholbarkeit: Wie bei Positioniersystemen in anderen Umgebungen ist eine hohe Präzision und Wiederholbarkeit erforderlich. Dies gewährleistet genaue und wiederholbare Positionierungen im Vakuum.
  6. Vakuumkompatible Antriebe: Die Antriebssysteme, wie zum Beispiel Schrittmotoren, Piezoaktoren oder Linearmotoren, sollten für den Betrieb im Vakuum geeignet sein. Sie müssen geringe Reibung und Verschleiß aufweisen, um eine präzise und zuverlässige Positionierung zu ermöglichen.
  7. Vakuumkompatible Sensorik: Falls Positionsrückmeldungen erforderlich sind, sollten die verwendeten Sensoren, wie zum Beispiel optische oder kapazitive Sensoren, vakuumkompatibel sein und keine Ausgasungen verursachen.
Produktparameter

Mikropositionierer

Bilder

Ultra High Vacuum MS30 - 8mm (UHV edition) mechOnics Münschen


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