Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum
Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum von Aurion Anlagentechnik GmbH
Beschreibung
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Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum Cluster-Anlagen AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum an. Die erhältlichen Konfigurationen umfassen Schleusenkammern, Transferkammern und Prozessmodule für Sputter- und RIE-Prozesse.
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Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum Artikelmerkmale
| Schleusenkammer | ||||
| Transferkammer |
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Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum
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