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Fertigung und Lieferung von VHF-Plasmaquellen

Entwicklung, Fertigung und Lieferung von Reaktoren/Elektroden- systemen für Load Lock-, Cluster- und In line- Systeme mit Technologieinstallation zur • Plasma-CVD von elektronisch hochwertigen Schichten auf ebenen   Substraten mit Abmessungen bis 1 m², Betriebsfrequenz bis 80 MHz • Plasma-CVD von elektronisch hochwertigen Schichten auf   zylindrischen Substraten, Betriebsfrequenz bis 27,12 MHz • Plasma-CVD von elektronisch hochwertigen Schichten auf ebenen   Substraten bei kontinuierlicher Substratbewegung, Betriebsfrequenz   bis 80 MHz.


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