VHF-PECVD-Großflächenelektrode

• PECVD von Silizium-Legierungen bei Temperaturen bis 250 °C auf Platten/Carrier mit Flächen bis 1 m2 • Gasphasendotierung mit Dotantenhydriden • Plasmapolymerisation Aufbau und Lieferumfang • HF/VHF-Elektrode mit Leistungsversorgung, Gasdusche und Thermostatierung • Carrier • Gasversorgungssystem (optional) Wesentliche Merkmale und Funktionsweise • Integrierbar in Vakuumkammer mit oder ohne Heizung, Substrathalterung face up oder vertikal • Geeignet für Anregungsfrequenzen bis 40.68 MHz und hohe Leistungsdichten • Definierte Entladungsraumbegrenzung • Elektrodenausführung in Aluminium • Plasmachemische Reaktorreinigung

product expire date

Wir verwenden Cookies, um Inhalte zu personalisieren und die Zugriffe auf unsere Website zu analysieren. Außerdem geben wir Informationen zu Ihrer Verwendung unserer Website an unsere Partner für Analysen weiter. Unsere Partner führen diese Informationen möglicherweise mit weiteren Daten zusammen, die Sie ihnen bereitgestellt haben oder die sie im Rahmen Ihrer Nutzung der Dienste gesammelt haben. Mit Klick auf Akzeptieren stimmen Sie der Nutzung dieser Dienste zu. Unter Cookie Einstellungen oder innerhalb der Datenschutzerklärung können Sie Ihre Cookies managen.
Mehr Infos einblenden

Cookie-Erklärung Über Cookies

Notwendig (11)

Präferenzen (0)

Statistiken (8)

Marketing (0)

Nicht klassifiziert (0)

Präferenz-Cookies ermöglichen einer Webseite sich an Informationen zu erinnern, die die Art beeinflussen, wie sich eine Webseite verhält oder aussieht, wie z. B. Ihre bevorzugte Sprache oder die Region in der Sie sich befinden.

Wir nutzen diese Cookie-Typen nicht.

Statistik-Cookies helfen Webseiten-Besitzern zu verstehen, wie Besucher mit Webseiten interagieren, indem Informationen anonym gesammelt und gemeldet werden.

Name	Anbieter	Zweck	Ablauf	Typ
_ga [x2]	Google	Registriert eine eindeutige ID, die verwendet wird, um statistische Daten dazu, wie der Besucher die Website nutzt, zu generieren.	2 Jahre	HTTP
_ga_S4FJY0X3VX	Google	Setzt einen Cookie im Zusammenhang mit Visualisierungen aus dem Google Data Studio. Wird nur auf Seiten mit einer Google Data Studio Einbindung ausgelöst.	2 Jahre	HTTP
_gid [x2]	Google	Registriert eine eindeutige ID, die verwendet wird, um statistische Daten dazu, wie der Besucher die Website nutzt, zu generieren.	1 Tag	HTTP
ads/ga-audiences	Google	Ermöglicht die Zielgruppenbildung in Google Analytics.	Session	Pixel
NID	Google	Registriert eine eindeutige ID, die das Gerät eines wiederkehrenden Benutzers identifiziert. Die ID wird für gezielte Werbung genutzt.	6 Monate	HTTP
collect	Google	Wird verwendet, um Daten zu Google Analytics über das Gerät und das Verhalten des Besuchers zu senden. Erfasst den Besucher über Geräte und Marketingkanäle hinweg.	Session	Pixel
__utmz	Google	Sammelt Daten dazu, woher der Benutzer kam, welche Suchmaschine verwendet wurde. Von Google Analytics verwendet.	Session	HTTP
_gat	Google	Wird von Google Analytics verwendet, um die Anforderungsrate einzuschränken	1 Tag	HTTP

Marketing-Cookies werden verwendet, um Besuchern auf Webseiten zu folgen. Die Absicht ist, Anzeigen zu zeigen, die relevant und ansprechend für den einzelnen Benutzer sind und daher wertvoller für Publisher und werbetreibende Drittparteien sind.

Wir nutzen diese Cookie-Typen nicht.

Nicht klassifizierte Cookies sind Cookies, die wir gerade versuchen zu klassifizieren, zusammen mit Anbietern von individuellen Cookies.

Wir nutzen diese Cookie-Typen nicht.

Cookies sind kleine Textdateien, die von Webseiten verwendet werden, um die Benutzererfahrung effizienter zu gestalten.

Diese Seite verwendet unterschiedliche Cookie-Typen. Einige Cookies werden von Drittparteien platziert, die auf unseren Seiten erscheinen.

Sie können Ihre Einwilligung jederzeit von der Cookie-Erklärung auf unserer Website ändern oder widerrufen.

Erfahren Sie in unserer Datenschutzrichtlinie mehr darüber, wer wir sind, wie Sie uns kontaktieren können und wie wir personenbezogene Daten verarbeiten.